近期我國科學院微電子研究所對外宣布，該所微波器件與集成技術研究室賈銳研究員帶領的太陽能電池研究團隊取了進展，進一步解決了超小絨面高效晶體硅太陽能電池的低接觸電阻，向這種技術的產業化邁進了一步。

基于超小絨面的高效太陽能電池是光伏產業關心的話題，這種電池在不用大幅度新增生產成本的前提下有效地提高對光的吸收和利用，進而提升電池的轉化效率。賈銳研究員領導的研究團隊在研究中通過在單晶硅及多晶硅表面形成超小絨面，極大地提高了對光的捕獲和吸收，進而引入新課題——超小絨面的接觸電阻增大的問題。

圖1新工藝對基于超小絨面的高效太陽能電池的短路電流的增益

該團隊通過研究面向大面積生產的離子注入法或者擴散方法進而較好地解決了部分難題。研究表明利用大面積離子注入或者擴散實現二次選擇性發射極在提升太陽能電池轉換效率方面具有明顯效果。

圖2光照下超小絨面電池一次擴散和兩次擴散的I-V特性曲線比較

研究表明，利用大面積離子注入方法和擴散方法均可以實現二次選擇性發射極，這種創新工藝將進一步提升超小絨面太陽能電池的轉換效率，也為離子注入設備在實現高效電池生產供應了新的應用途徑。目前該團隊的此項研究成果已經申請了我國國家發明專利。